| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT D'UN REVETEMENT PAR COUPLAGE DES TECHNIQUES DE DEPOT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR ET DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ASSISTE PAR PLASMA, REVETEMENT AINSI OBTENU ET SUBSTRAT RECOUVERT DE CE REVETEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2743089(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.17 |
| 申请号 |
FR19950015647 |
申请日期 |
1995.12.28 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DANROC JOEL;JULIET PIERRE;ROUZAUD ANDRE |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/06;C23C14/22;C23C16/44;(IPC1-7):C23C28/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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