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发明名称 ION BEAM POTENTIAL DETECTION PROBE
摘要
申请公布号 KR0133320(B1) 申请公布日期 1998.04.16
申请号 KR19920000714 申请日期 1992.01.20
申请人 EATON CORP. 发明人 SPERLAZZO, PIERO
分类号 C23C14/48;C23C14/54;H01J37/02;H01J37/04;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/42 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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