发明名称 FABRICATING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0133264(B1) 申请公布日期 1998.04.16
申请号 KR19930028760 申请日期 1993.12.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORITA, SIGERU
分类号 H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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