| 发明名称 |
Einrichtung zur Steuerung von in der Halbleiterindustrie vorgesehenen Fertigungsmaschinen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29801583(U1) |
申请公布日期 |
1998.04.16 |
| 申请号 |
DE19982001583U |
申请日期 |
1998.01.30 |
| 申请人 |
SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
H04L12/00;(IPC1-7):G05B15/02;G08C15/00;H01L21/18 |
主分类号 |
H04L12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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