| 摘要 |
<p>Für das Entnehmen und Transportieren von mehreren, zueinander parallel beabstandeten Wafern (3), welche in einem Behälter (4) aufbewahrt sind, wird die erfindungsgemässe Greifvorrichtung (1) vorgeschlagen. Diese weist einen Halterechen (10) und mehrere, bezüglich des Halterechens (10) verschieb- und verdrehbare Greifköpfe (6; 6') auf. Diese Greifköpfe (6; 6') können in der einen Schwenklage zwischen den Wafer (3) hindurch verfahren werden und dann in die andere Schwenklage verschwenkt werden. In dieser Lage können die Greifköpfe (6; 6') gegen die Ränder der Wafer (3) hin verschoben werden, mit diesen in Anschlag gelangen und gleichzeitig die gegenüberliegenden Ränder der Waferscheiben (3) in die Schlitze (11) des Halterechens (10) einschieben. Damit sind gleichzeitig alle im Behälter (4) befindlichen Wafer (3) sicher gehalten und können aus dem Behälter (4) heraus verschoben und verschwenkt werden. In der verschwenkten Lage können die nun vertikal stehenden Wafer (3) einem Bearbeitungsträger (5) zugeführt werden.</p> |
