发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Verlagerung
摘要
申请公布号 DE69223207(T2) 申请公布日期 1998.04.16
申请号 DE19926023207T 申请日期 1992.09.24
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SENTOKU, KOICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;MATSUMOTO, TAKAHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP;NOSE, NORIYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP;YOSHII, MINORU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;SAITOH, KENJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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