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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer dynamischen Speicherzelle mit wahlfreiem Zugriff
摘要
申请公布号 DE3856143(D1) 申请公布日期 1998.04.16
申请号 DE19883856143 申请日期 1988.06.16
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAGUCHI, MASO, SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA, 228, JP;EMA, TAIJI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA, 213, JP
分类号 H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/92;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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