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经营范围
发明名称
CLAMP SYSTEM FOR WAFER CASSETTE
摘要
申请公布号
KR0115437(Y1)
申请公布日期
1998.04.15
申请号
KR19940013962U
申请日期
1994.06.15
申请人
YUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
LEE, SANG-YUN
分类号
H01L21/22;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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