| 发明名称 |
Sealable transportable container having a particle filtering system. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0313693(B1) |
申请公布日期 |
1994.02.09 |
| 申请号 |
EP19870309507 |
申请日期 |
1987.10.28 |
| 申请人 |
ASYST TECHNOLOGIES |
发明人 |
PARIKH, MIHIR;BONORA, ANTHONY CHARLES |
| 分类号 |
H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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