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发明名称
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG MIT FLÜSSIGKEIT
摘要
申请公布号
AT164722(T)
申请公布日期
1998.04.15
申请号
AT19930109877T
申请日期
1993.06.21
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BARD, STEVEN LINDZ;JONES, JEFFREY DONALD;KATYL, ROBERT HENRY;MOORE, RONALD JAMES;MORENO, OSCAR AUREO
分类号
B05C5/02;B05D1/36;B08B3/02;C23F1/08;F26B21/00;H01L21/304;H05K3/00;H05K3/22;H05K3/26;(IPC1-7):H05K3/00
主分类号
B05C5/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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