VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ABGABE NICHT- FLÜCHTIGER REAGENZIEN,申请号AT19930901010T-传众专利搜索

发明名称	VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ABGABE NICHT- FLÜCHTIGER REAGENZIEN
摘要
申请公布号	AT164632(T)	申请公布日期	1998.04.15
申请号	AT19930901010T	申请日期	1992.12.11
申请人	ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.	发明人	KIRLIN, PETER, S.;BINDER, ROBIN, L.;GARDINER, ROBIN, A.;VAN BUSKIRK, PETER;ZHANG, JIMING;STAUF, GREGORY
分类号	C23C16/44;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/455;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/00;B05D5/12	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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