| 发明名称 |
Method and apparatus for washing silicon ingot with water to remove particulate matter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2318075(A) |
申请公布日期 |
1998.04.15 |
| 申请号 |
GB19980000212 |
申请日期 |
1996.07.12 |
| 申请人 |
* MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC |
发明人 |
YOSHIHIRO * SUZUKI;KOICHI * KATO;KEIICHI * TAKAMI;RYOICHI * KAWAMURA;TAKEHIRO * WATANABE;MASAHIRO * KOSAKO |
| 分类号 |
B24B27/06;B08B3/02;B28D5/00;B28D5/04;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02;B24B1/00 |
主分类号 |
B24B27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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