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经营范围
发明名称
TREATING DEVICE AND TREATING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH1097962(A)
申请公布日期
1998.04.14
申请号
JP19960269213
申请日期
1996.09.19
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MIYASHITA MASAHIRO
分类号
F24F7/06;H01L21/02;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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