发明名称 TREATING DEVICE AND TREATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1097962(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960269213 申请日期 1996.09.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MIYASHITA MASAHIRO
分类号 F24F7/06;H01L21/02;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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