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发明名称 DETECTION METHOD FOR INTERFERENCE FRINGES PHASE AND INTERFERENCE MEASURING DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1096602(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960271562 申请日期 1996.09.20
申请人 CANON INC 发明人 OTSUKA MASARU
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/25;G01M11/00;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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