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发明名称 DRY ETCHING SYSTEM AND DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1098022(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960249960 申请日期 1996.09.20
申请人 NEC CORP 发明人 SHOJI HIDEYUKI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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