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经营范围
发明名称
WAFER CARRIER
摘要
申请公布号
KR0131013(B1)
申请公布日期
1998.04.14
申请号
KR19890072366
申请日期
1989.12.15
申请人
FLUOROWARE INC
发明人
KOS, ROBERT D.
分类号
B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
B65D85/86
代理机构
代理人
主权项
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