| 发明名称 |
MANUFACTURE OF EPITAXIAL SUBSTRATE AND EPITAXIAL GROWTH SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1097995(A) |
申请公布日期 |
1998.04.14 |
| 申请号 |
JP19960249921 |
申请日期 |
1996.09.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MURATA NAOFUMI;SEKINE MASAHIRO;YAMAMOTO HIDEKAZU |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
