发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1097972(A) |
申请公布日期 |
1998.04.14 |
申请号 |
JP19960251099 |
申请日期 |
1996.09.24 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MITO HIDEAKI;SHIMADA OSAMU |
分类号 |
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B05C11/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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