发明名称
摘要
申请公布号 JPS5258622(U) 申请公布日期 1977.04.28
申请号 JP19750146799U 申请日期 1975.10.27
申请人 发明人
分类号 B06B1/08;B60B1/00;H01L21/60;H01L21/607;H01L23/48 主分类号 B06B1/08
代理机构 代理人
主权项
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