发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1094746(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960249959 申请日期 1996.09.20
申请人 NEC CORP 发明人 KOSHINAHA MASAYA
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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