发明名称 SILANE COMPOUND AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH1095787(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19970121256 申请日期 1997.05.12
申请人 FUJI XEROX CO LTD 发明人 YAMADA WATARU;NUKADA KATSUMI;IWASAKI MASAHIRO
分类号 G03G5/06;C07B61/00;C07F7/18;C09K11/06;G03G5/147;H01L51/50;H05B33/22;(IPC1-7):C07F7/18 主分类号 G03G5/06
代理机构 代理人
主权项
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