| 发明名称 |
WORKPIECE CARRIER FOR DISK-SHAPED WORKPIECE PROCESS SPACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0132665(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.13 |
| 申请号 |
KR19900006358 |
申请日期 |
1990.05.04 |
| 申请人 |
BALZERS AG. |
发明人 |
RUDOLF, WAGNER;HANS, HIRSCHER |
| 分类号 |
B23Q3/08;B65G49/00;C23C14/50;C23C14/54;C30B25/10;C30B25/12;C30B31/14;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):C30B25/10;H01L21/00 |
主分类号 |
B23Q3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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