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发明名称 Photostrukturierbare Beschichtungen auf Basis eines Wasserstoff-Silsesquioxanharzes
摘要
申请公布号 DE69222461(T2) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 DE19926022461T 申请日期 1992.04.15
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 HALUSKA, LOREN ANDREW, MIDLAND, MICHIGAN, US;MICHAEL, KEITH WINTON, MIDLAND, MICHIGAN, US
分类号 G03F7/028;C09D183/04;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人
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