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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1098098(A) 申请公布日期 1998.04.14
申请号 JP19960250050 申请日期 1996.09.20
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ABE SEIGO;KIMURA KOJI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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