发明名称 Process for forming silica film and composition therefor
摘要
申请公布号 AU3991997(A) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 AU19970039919 申请日期 1997.10.03
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 KOTARO YANO;YASUO SAITO;KEIJI KAWASAKI
分类号 C03C17/30;C04B41/50;C23C18/00 主分类号 C03C17/30
代理机构 代理人
主权项
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