发明名称 |
Process for forming silica film and composition therefor |
摘要 |
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申请公布号 |
AU3991997(A) |
申请公布日期 |
1998.04.09 |
申请号 |
AU19970039919 |
申请日期 |
1997.10.03 |
申请人 |
SHOWA DENKO K.K. |
发明人 |
KOTARO YANO;YASUO SAITO;KEIJI KAWASAKI |
分类号 |
C03C17/30;C04B41/50;C23C18/00 |
主分类号 |
C03C17/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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