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发明名称 Kupfer-Aetzverfahren mit Hilfe von Haliden
摘要
申请公布号 DE69032089(D1) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 DE19906032089 申请日期 1990.12.18
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 DOUGLAS, MONTE A., TEXAS 75019, US
分类号 H01L21/302;C23F4/02;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06;H01L21/321;H05K3/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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