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发明名称 Abtastanalysator für photoinduzierten Strom mit der Fähigkeit photoinduzierten Strom in nicht-vorgespannten Proben nachzuweisen
摘要
申请公布号 DE19609521(C2) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 DE19961009521 申请日期 1996.03.11
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOYAMA, TOHRU, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 G01N37/00;G01N13/10;G01N27/00;G01R31/311;H01J37/256;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/60;G01R31/305 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
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