Elektronenquelle und Elektronenstrahlgerät,申请号DE19946008812-传众专利搜索

发明名称	Elektronenquelle und Elektronenstrahlgerät
摘要
申请公布号	DE69408812(D1)	申请公布日期	1998.04.09
申请号	DE19946008812	申请日期	1994.12.21
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	MITSUTAKE, HIDEAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;NAKAMURA, NAOTO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;SANO, YOSHIHISA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号	G06F3/147;H01J1/316;H01J29/84;H01J31/12;(IPC1-7):H01J1/30;H01J21/10;H01J3/40	主分类号	G06F3/147
代理机构		代理人
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