| 申请人 |
GEMAC - GESELLSCHAFT FUER MIKROELEKTRONIKANWENDUNG CHEMNITZ MBH, 09113 CHEMNITZ, DE;INSTITUT FUER MIKROELEKTRONIK STUTTGART, 70569 STUTTGART, DE |
发明人 |
DITTRICH, CLAUS, DR., 09127 CHEMNITZ, DE;REICHERT, THOMAS, 09112 CHEMNITZ, DE;SCHOENITZ, GEB. ROTHE, EVA-MARIA, 09122 CHEMNITZ, DE;KOCH, MICHAEL, 71065 SINDELFINGEN, DE;LEENSTRA, JENS, DR., 72218 WILDBERG, DE;SCHWEDERSKI, THOMAS, DR., 70563 STUTTGART, DE |
