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发明名称 Elektrostatische Haltevorrichtung für Substrat in einen Bearbeitungskammer
摘要
申请公布号 DE69501135(T2) 申请公布日期 1998.04.09
申请号 DE19956001135T 申请日期 1995.07.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 SHAMOUILIAN, SHAMOUIL, SAN JOSE, CA 95120, US;CAMERON, JOHN F., LOS ALTOS, CA 94022, US
分类号 H02N13/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H02N13/00
代理机构 代理人
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