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发明名称 Integrated capacitive transducer
摘要
申请公布号 EP0587032(B1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19930113955 申请日期 1993.09.01
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A. 发明人 MORET, JEAN-MARC;BERGQVIST, JOHAN WILHELM
分类号 H01L41/08;H04R19/00;H04R19/01;H04R19/04;H04R25/00;(IPC1-7):H04R19/04 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
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