发明名称 | 开管汞自封碲镉汞材料热处理装置 | ||
摘要 | 一种开管汞自封磅镉汞材料的热处理装置,由样品架、密封罩、退火管、不锈钢密封头、隔膜阀、抽气管组成,巧妙地利用汞源兼作自密封密封罩的工质,形成了一种开管方式又具有闭管功能的退火装置;既具有开管装置的方便又具有闭管装置的优点。本装置适宜对N型磅镉汞分子束外延材料进行热处理,也可对液相外延材料、金属有机化学气相淀积材料及块状碲镉汞材料进行调节各种载流子浓度的热处理。 | ||
申请公布号 | CN1178391A | 申请公布日期 | 1998.04.08 |
申请号 | CN97106610.8 | 申请日期 | 1997.09.17 |
申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 陈新强;方维政;杨建荣;郭世平;何力 |
分类号 | H01L21/324 | 主分类号 | H01L21/324 |
代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 高毓秋 |
主权项 | 1、一种开管汞自封碲镉汞材料热处理装置,样品置于样品架6中,罩上密封罩5,吊装在石英退火管4内腔,石英退火管4底部置汞源7,石英退火管4一端通过不锈钢密封头3和隔膜阀2相连,隔膜阀直接焊在不锈钢密封头3上,隔膜阀2的另一端焊有不锈钢抽气管1,其特征在于:利用产生汞蒸汽的退火源汞作为密封工质对内管密封,自封工质汞源7在石英退火管中的高度为浸没密封罩5底部约1.5厘米,但在石英退火管倾斜时密封罩5的部分底部能露出汞源液面。 | ||
地址 | 200083上海市中山北一路420号 |