发明名称 System for directing a charged partical beam
摘要
申请公布号 GB9802943(D0) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 GB19980002943 申请日期 1998.02.11
申请人 NIKON CORPORATION 发明人
分类号 H01J37/147;G03F7/20;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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