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发明名称
System for directing a charged partical beam
摘要
申请公布号
GB9802943(D0)
申请公布日期
1998.04.08
申请号
GB19980002943
申请日期
1998.02.11
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
分类号
H01J37/147;G03F7/20;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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