发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09213956(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960020818 申请日期 1996.02.07
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 SUMIDA WATARU
分类号 H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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