| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING A TEMPERATURE OF A WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0834188(A1) |
申请公布日期 |
1998.04.08 |
| 申请号 |
EP19960923274 |
申请日期 |
1996.06.07 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
HUSAIN, ANWAR;NOORBAKHSH, HAMID |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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