发明名称
摘要
申请公布号 JP2738327(B2) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 JP19950018829 申请日期 1995.01.12
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KUNITO MASAO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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