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发明名称 A scanning electron microscope
摘要
申请公布号 EP0592899(B1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19930115912 申请日期 1993.10.01
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SATO, MITSUGU;TODOKORO, HIDEO;OTAKA, TADASHI
分类号 G01T1/28;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01T1/28
代理机构 代理人
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