发明名称 PRECISION-CONTROLLED SLIT MECHANISM FOR ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0834186(A1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19960929662 申请日期 1996.08.08
申请人 GATAN, INC. 发明人 KRIVANEK, ONDREJ, L.
分类号 G01Q30/06;H01J37/09;H01J49/06;H01J49/44;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 G01Q30/06
代理机构 代理人
主权项
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