| 发明名称 |
ETCHING GAS AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1087301(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960237481 |
申请日期 |
1996.09.09 |
| 申请人 |
MITSUI PETROCHEM IND LTD |
发明人 |
SASAKI SAKAKI;SAGAWA EIICHI;ASANO TAMOTSU |
| 分类号 |
C01B7/13;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C01B7/13;H01L21/306 |
主分类号 |
C01B7/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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