| 发明名称 |
COVER ON-OFF STRUCTURE FOR VACUUM CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1089482(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960241574 |
申请日期 |
1996.09.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIROKI MINORU;ISHIDA YASUHIKO |
| 分类号 |
F16J13/18;B01J3/03;H01L21/3065;(IPC1-7):F16J13/18 |
主分类号 |
F16J13/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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