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经营范围
发明名称
VAPORIZER
摘要
申请公布号
JPH1085581(A)
申请公布日期
1998.04.07
申请号
JP19970148543
申请日期
1997.05.22
申请人
EBARA CORP
发明人
HORIE KUNIAKI;KOGURE NAOAKI;FUKUNAGA YUKIO;HONGO AKIHISA
分类号
B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C30B35/00;H01L21/31;(IPC1-7):B01J7/02
主分类号
B01J7/02
代理机构
代理人
主权项
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