发明名称 VAPORIZER
摘要
申请公布号 JPH1085581(A) 申请公布日期 1998.04.07
申请号 JP19970148543 申请日期 1997.05.22
申请人 EBARA CORP 发明人 HORIE KUNIAKI;KOGURE NAOAKI;FUKUNAGA YUKIO;HONGO AKIHISA
分类号 B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C30B35/00;H01L21/31;(IPC1-7):B01J7/02 主分类号 B01J7/02
代理机构 代理人
主权项
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