| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN METAL OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1087304(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960291308 |
申请日期 |
1996.09.12 |
| 申请人 |
KANSAI SHIN GIJUTSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
IMAI HIROAKI;TOKI MOTOYUKI;YAMAGUCHI HIDEKI |
| 分类号 |
C01B13/32;B01J19/00;C01B33/12;C01G23/04;(IPC1-7):C01B13/32 |
主分类号 |
C01B13/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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