| 发明名称 |
ELECTROLYTIC IONIC WATER PREPARATION PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1085746(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960249459 |
申请日期 |
1996.09.20 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKAYASU ATSUSHI;MIYASHITA NAOTO |
| 分类号 |
C02F1/46;H01L21/304;(IPC1-7):C02F1/46 |
主分类号 |
C02F1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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