| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER-PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0129406(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
KR19890003670 |
申请日期 |
1989.03.23 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRIC SAGAMI KK. |
发明人 |
KINOSHITA, KENICHI |
| 分类号 |
C30B31/10;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
C30B31/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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