| 发明名称 |
SUSCEPTOR FOR VAPOR PHASE GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1087394(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960261404 |
申请日期 |
1996.09.10 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HOSHINA SUKEAKI;HARIGAI HIDEKI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/12 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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