| 发明名称 |
RAW MATERIAL SOLUTION EVAPORATION SYSTEM FOR CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1088354(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960246657 |
申请日期 |
1996.09.18 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD;CHUBU ELECTRIC POWER CO INC |
发明人 |
ONABE KAZUNORI;SADAKATA NOBUYUKI;SAITO TAKASHI;NAGAYA SHIGEO;SHIMONOSONO TAKAAKI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/448;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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