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发明名称 SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPH1087398(A) 申请公布日期 1998.04.07
申请号 JP19960243007 申请日期 1996.09.13
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAHIGASHI TAKAHIRO;SOEJIMA YASUO
分类号 C30B25/12;C23C16/26;C23C16/44;C23C16/458;C30B29/04;C30B31/14;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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