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发明名称 FLAP VALVE DRIVING DEVICE FOR VACUUM SPARE CHAMBER
摘要
申请公布号 JPH1089307(A) 申请公布日期 1998.04.07
申请号 JP19960267862 申请日期 1996.09.17
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJITA SHIGEHIRO
分类号 F16K31/122;F15B11/06;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/205;H01L21/265;(IPC1-7):F15B11/06 主分类号 F16K31/122
代理机构 代理人
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