发明名称 FLUG REMOVING DEVICE
摘要
申请公布号 KR0110466(Y1) 申请公布日期 1998.04.06
申请号 KR19940008606U 申请日期 1994.04.22
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KANG, JOON-KYU
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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