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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69031702(T2) 申请公布日期 1998.04.02
申请号 DE1990631702T 申请日期 1990.09.11
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YOSHIDA, TOHRU, WARABI-SHI, SAITAMA-KEN, JP
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092;H01L21/82 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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